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2025-8

功率半导体的 EFEM：特殊材质的定制化解决方案

功率半导体生产中，SiC、GaN 等特殊材质晶圆的传输需兼顾脆性与精度。EFEM 通过定制化设计解决了这一难题
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自动化物流系统的 EFEM：产线协同的神经中枢

EFEM 作为连接物料搬运系统（AMHS）与工艺设备的桥梁，在半导体工厂的自动化物流中发挥关键作用。通过 SECS/GEM 协议，EFEM 可与工厂管理系统（MES）无缝对接，实现晶圆信息追溯与产线协同
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晶圆检测中的 EFEM：微观缺陷的智能筛选器

在晶圆检测环节，EFEM 不仅是传输工具，更是缺陷识别的 “智慧眼睛”。其搭载的光纤传感器（如 E32/E3NX-FA 系列）可敏锐检测 cassette 内晶圆的凸出情况，防止取片碰撞
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3D NAND 制造中的 EFEM：堆叠层数突破的传输基石

3D NAND 堆叠层数的增加对 EFEM 提出了严峻挑战。随着层数超过 100 层，传输过程中需应对更高的深宽比和应力控制问题
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产品特性与性能优势

气浮平台作为一种高精度运动控制解决方案，具有诸多独特的产品特性和性能优势，这些特点使其在精密制造领域发挥着重要作用。

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