精密需求
缺陷检测需0.1μm分辨率，且要求传输过程零振动干扰。
EFEM核心功能
模块技术方案性能指标
视觉定位 光学字符识别+条形码读取 定位重复精度±10μm
表面扫描 共聚焦激光传感器集成 缺陷识别尺寸0.2μm
数据分析 AI预测性维护系统 故障预警准确率95%
案例：小米晶圆检测EFEM
压电补偿模块提升定位稳定性3倍，日检测量达10万片；
300mm晶圆表面平坦度分析误差＜1μ
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