技术难点
MicroLED晶粒尺寸＜30μm，转移良率要求＞99.95%。
EFEM解决方案
真空传输平台
无氧环境防止金属电极氧化，苹果产线通过10万次可靠性测试；
高精度对位系统
四轴机器人配合机器视觉，RGB像素重合精度±1.5μm（京东方G6产线良率92%）。
案例：维信诺MicroLED巨量转移
定制EFEM支持150×200mm异形基板；
转移速度180K UPH，精度误差＜0.5μm
电话：0755-86339733，18998923123 ，18998923112 地址：深圳市龙华区观澜街道鸿信工业园4栋 网址：www.hanocn.com
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