行业痛点
蚀刻设备需每小时处理450片晶圆，传统EFEM因机器人速度瓶颈导致设备利用率不足80%。
技术突破
高速机器人协同
Spartan EFEM采用专利路径算法，晶圆切换时间＜2.5秒，吞吐量达450片/小时（提升20%）；
双抓爪直角坐标机器人减少Z轴移动，节省30%垂直空间。
全封闭污染控制
AMC过滤器去除酸碱性气体，VOC净化率＞99%；
晶圆边缘夹持技术避免表面接触，降低微粒污染风险。
案例：中微公司蚀刻设备EFEM
搭载Crossing Automation Spartan系统，实现离子注入机100%利用率，上线时间99%，累计安装超1000台
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