直线电机:半导体光刻机的“精密之芯”
在追求纳米级精度的半导体制造领域,光刻机是当之无愧的核心设备。其光刻精度直接决定了芯片的性能。而直线电机,正是驱动光刻机核心运动部件——工件台和掩模台的关键技术。
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