传统旋转电机+滚珠丝杠的方案存在摩擦、背隙、热变形等问题，难以满足光刻机对超高定位精度（纳米级）、超高速运动（高加速度）、无摩擦、无迟滞的严苛要求。直线电机凭借其直接驱动、零接触、零背隙的特性，完美解决了这些痛点。
直线电机直接产生直线推力，驱动物体沿导轨高速、平稳、精确地运动。它消除了中间传动环节带来的误差和延迟，响应速度极快。在光刻机的步进扫描过程中，工件台需要在极短时间内完成高速移动并精准定位，直线电机是实现亚纳米级重复定位精度的核心保障。
可以说，没有高性能直线电机，就没有现代高精度光刻机。它是推动摩尔定律持续前进的“精密之芯”。
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