纳米级舞台的“舞者”：直线电机如何定义光刻机精度极限
半导体光刻机，被誉为“工业皇冠上的明珠”，其精度直接决定了芯片的最小特征尺寸。而支撑光刻精度的核心子系统之一，便是承载晶圆并实现高速、超精密运动的双工件台系统。在这一追求纳米级甚至亚纳米级定位精度的巅峰领域，直线电机扮演着无可替代的角色。
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