汉诺的 EFEM 晶圆传输系统主要适配半导体行业的多种核心设备。在晶圆光刻设备中，该系统可精准对接光刻平台，实现晶圆在加载、曝光、卸载环节的平稳传输，配合汉诺自主研发的直线电机，确保传输过程中位置偏差控制在微米级内。在晶圆检测设备上，系统能与检测探头协同作业，通过压电平台的纳米级微调功能，让晶圆与检测元件保持稳定相对位置，满足亚微米级检测需求。
除半导体设备外，该系统还适配光伏行业的硅片处理设备。在硅片清洗、镀膜等环节，EFEM 晶圆传输系统可与传送轨道无缝衔接，凭借气浮平台的无接触传输特性，减少硅片表面损伤。在 LED 面板制造设备中，系统能适配面板搬运机械臂，通过多轴直线电机模组的联动控制，实现面板在不同加工工位间的精准转运。
作为直线电机源头厂家，汉诺的 EFEM 晶圆传输系统能适配设备的关键，在于其完善的研发生产体系。公司拥有一万五千平研发生产车间，推行 6S 生产管理，多名十年以上装配经验的高级技工参与组装调试。同时配备 10 台雷尼绍激光干涉仪、准直仪等检测设备，确保每台系统的机械精度和运动稳定性。
依托与哈工大等高校的产学研合作，汉诺的 EFEM 晶圆传输系统可根据设备需求定制接口规格和运动参数。目前已适配苹果、华为产业链中的芯片封装设备，新能源汽车电池芯片的检测设备，以及光伏组件的精密加工设备等。80% 的老客户返单数据，也印证了该系统在设备适配性上的可靠表现。
综上，汉诺作为直线电机源头厂家，其 EFEM 晶圆传输系统在半导体、光伏、LED 面板等领域的多种高精密设备中均能适配，凭借精准的运动控制和定制化能力，成为高精密自动化设备厂家的优选。
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