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纳米级气浮检测平台
气浮平台采用高阻尼、高刚性(气浮刚度可达150N/μm)气浮模块，气浮面为陶瓷及天然大理石（极小的变形量及膨胀系数）。运用源采用直驱电机，极佳的速度链波，能有效抑制外界对气浮平台的干扰。
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