纳米级气浮平台,纳米位移平台,纳米级精密平台_深圳市汉诺精密科技有限公司纳米级气浮平台,订制大理石平台,超高精度纳米定位平台

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纳米级气浮平台

气浮直线电机平台是汉诺推出的纳米级超高精密运动平台。采用进口气浮模块，具有高阻尼、高刚性(气浮刚度可达150N/μm)，气浮面为花岗岩表面，保证运动平面度及直线度。自主研发磁性预压设计，提升其稳定性，抗外界干扰,解决气浮弊端。动力采用悬浮直驱电机，无磁顿力、极佳的速度链波，搭配极小膨胀系数的铟钢尺，稳定的重复精度。平台无摩擦损耗、无需润滑、无需维护。

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