通过将多片压电陶瓷促动器以特定的机械结构(如柔性铰链)进行集成,一个紧凑的平台就能同时实现多个自由度的运动。例如:
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XY平台:由两组垂直布置的压电促动器驱动,可实现平面内的精密二维扫描。
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Tip-Tilt平台:通常由三个或四个促动器协同驱动一个平台面,实现绕X轴和Y轴的精密角度偏摆,用于激光光束校准、光学镜面姿态调整等。
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Z轴旋转(θz)平台:利用特殊的设计,实现绕Z轴的精密封装旋转。
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所有这些运动都可以在同一个小型化、一体化的平台上实现,并由同一个多通道控制器进行协同控制。这种集成化设计大大简化了系统结构,减少了安装空间,避免了多个独立台子堆叠带来的阿贝误差、挠曲和动态性能下降等问题,为用户提供了即插即用的高精度多维度解决方案。
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