普通压电陶瓷的居里点(失去压电效应的温度)通常远高于室温,可达200-350℃甚至更高,这意味着其在较高温度下仍能正常工作。通过选择耐高温的陶瓷配方和电极材料,可以制造出专门用于高温环境的促动器。
在真空兼容性方面,压电陶瓷平台表现出色。其主要问题在于材料的放气率。在真空中,某些材料会释放出吸附的气体分子,污染真空环境。通过采用全陶瓷结构、特种不锈钢外壳,并使用低放气率的环氧树脂或直接采用焊接工艺,可以制造出超高真空兼容的压电平台。
此外,真空环境下散热困难,因此需要优化驱动电压和频率,防止过热。我们的真空级压电平台经过特殊设计,确保了在10^-9 mbar甚至更高的真空度下,也能长期、可靠地提供纳米级精密的运动,是同步辐射、空间模拟等领域的可靠伙伴。
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