为确保检测精度，EFEM 采用 RMS 滤波算法处理温度数据，结合数学期望模型实时估算基准值，使温度变化感知灵敏度提升 1 倍，响应速度加快 15%。此外，EFEM 的微环境控制技术（如 HEPA 过滤和静电消除）为晶圆提供无尘、无静电干扰的传输空间，避免沉积过程中引入额外污染。这种应力检测与传输的一体化设计，显著降低了 CVD 工艺的缺陷率，助力 3D NAND 等复杂结构的量产。
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