针对刻蚀过程中的酸碱性气体污染，AMC 过滤器可实现 VOC 净化率＞99%，确保晶圆在传输过程中不受腐蚀。中微公司蚀刻设备搭载的 Crossing Automation Spartan 系统，不仅实现离子注入机 100% 利用率，上线时间达 99%，还累计安装超 1000 台，成为行业标杆。这种高效传输与污染防控的结合，使 EFEM 成为刻蚀产线提升效率和良率的核心枢纽。
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