维护优化篇:直线电机与气浮平台如何降低半导体设备运维成本
2025/8/7 15:12:25 来源 admin
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半导体设备维护成本中,运动部件损耗占比高达34%。汉诺解决方案通过技术创新实现:

部件传统方案维护周期汉诺方案维护周期

传动机构 3-6个月 免维护设计

导轨系统 年度更换 >5年使用寿命

定位校准 每周人工调整 自动补偿零干预

汉诺的可持续设计

直线电机平台:无接触驱动消除机械磨损;

气浮运动系统:空气轴承无润滑需求;

EFEM传输机构:模块化设计支持快速更换。

客户效益实证

华为晶圆分选机:年度维护成本下降42%

苹果掩模清洗线:设备利用率提升至95%

小米封装设备:停机时间减少60%

整机质保1年,提供预防性维护培训。咨询:18998923120


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