当半导体设备进入亚微米工艺时代，环境振动、热变形等微小干扰成为精度杀手。汉诺压电平台以压电陶瓷致动器为核心，配合纳米级传感器实现：
10nm分辨率实时补偿；
200Hz高频振动抑制；
0.01%线性度运动控制。
汉诺的技术整合能力
深圳市汉诺精密科技有限公司拥有：
15000㎡生产基地：百级洁净车间生产压电陶瓷模块；
13年经验数据库：500+案例验证不同工况补偿参数；
非标定制流程：3D模型设计→动态仿真→样机实测。
典型应用场景
光刻机套刻误差补偿（苹果供应链项目）；
晶圆探针台微定位（华为合作研发）；
芯片封装固晶校准（小米产线升级方案）。
整机质保1年，支持半导体设备同行业案例免费参观体验。热线：18998923120
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