检测设备（如光学显微镜、电子显微镜、激光扫描系统）的工作台需要承载样品（晶圆、Mask、芯片）实现大行程内的快速移动（寻址）、微小步进的精确定位（对焦/扫描），以及极其稳定的驻留（成像/测量）。任何运动误差或振动都会导致图像模糊、测量失准或漏检误检。直线电机的价值在于：
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纳米级定位与扫描精度： 结合精密反馈系统（如激光干涉仪），直线电机可实现纳米级的绝对定位精度和平稳的扫描运动，确保检测探头（光学头、电子束、探针）能精准地对准目标特征并稳定扫描。
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高速寻址与高吞吐量： 高加速度和大推力特性使工作台能在检测点之间快速移动，大幅缩短整片晶圆或芯片的检测时间，提升设备产能（Throughput）。
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超低振动与平稳性： 直接驱动避免了机械传动带来的振动源，运动极其平滑，保证在长时间曝光或高分辨率成像下的图像清晰度和测量重复性（Repeatability & Reproducibility, R&R）。
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高刚性与动态刚度： 有效抵抗外部振动干扰和内部驱动力的影响，保持工作台在扫描和驻留时的绝对稳定。
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真空兼容性（可选）： 特殊设计的直线电机可应用于需要真空环境的电子束检测设备（如CD-SEM, EBI）。
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无论是追求分辨率的量测设备，还是要求高速全覆盖的缺陷检测系统，直线电机提供的超高精度、高速运动与卓越稳定性，都是实现可靠检测结果和高通量运行的关键保障。我们专注于为高端检测设备提供定制化的低噪声、高稳定性、超高精度的直线电机解决方案，助力客户在纳米世界明察秋毫。
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