缺陷无处遁形：直线电机如何赋能精密检测设备
在半导体制造的全流程中，检测（Inspection）和量测（Metrology）环节如同“火眼金睛”，对保障芯片良率和工艺控制至关重要。从晶圆缺陷检测（Wafer Inspection）、光刻后量测（Overlay, CD-SEM）到封装成品检测（Final Test Inspection），设备都需要在微观尺度（纳米至微米级）上对样品进行高速、高精度的扫描和定位。直线电机以其卓越的动态性能和精度，成为驱动这些精密检测设备工作台的核心力量。
