自动化物流系统的 EFEM：产线协同的神经中枢
EFEM 作为连接物料搬运系统（AMHS）与工艺设备的桥梁，在半导体工厂的自动化物流中发挥关键作用。通过 SECS/GEM 协议，EFEM 可与工厂管理系统（MES）无缝对接，实现晶圆信息追溯与产线协同
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