EFEM晶圆传输系统：半导体制造的关键枢纽与汉诺精密科技的赋能
在半导体制造的前道工艺中，晶圆传输的效率和可靠性直接影响生产良率与设备利用率。EFEM（设备前端模块）作为晶圆厂与工艺设备之间的智能接口，承担着晶圆洁净传输、精准定位与高效调度的核心任务。其性能的优劣，很大程度上取决于内部运动控制核心——直线电机平台的精度与稳定性。这正是深圳市汉诺精密科技有限公司深耕13年的领域。
