
EFEM晶圆前端传输设备定制厂家哪家高精密稳定性好?
EFEM晶圆前端传输设备作为半导体制造流程中的“咽喉”设备,承担着晶圆在光刻、刻蚀、沉积等不同工艺设备之间的自动化传输任务,其性能直接决定了半导体生产线的整体效率和产品良率。高精密高稳定性是EFEM设备的核心诉求,它要求设备在高速传输过程中,能够实现对晶圆的精准抓取、平稳移动和精确放置,最大限度地减少微粒污染和物理损伤的风险。在半导体产业高度发达的上海、苏州、北京等地,EFEM设备的技术水平和市场需求都处于领先地位。