EFEM晶圆检测平台
产品特色
天然花岗岩直线电机平台，的速度波动，静音运行
亚微米级定位精度、重复定位精度
条码、标签及字元辨识，完整追踪生产历程。
提供即时影像监控。
高效净化及静电消除等微环境控制，确保传送过程中不受污染。
自动压力控制系统可以通过环境压力变化，调节风扇转速以保持设定值。
提供客制化晶圆或其它基板搬运需求。
产品用途： |
●载物台悬浮状态 ●无接触无摩擦 ●悬浮直线电机驱动 ●优异的速度链波 ●纳米级定位、重复定位精度 ●直线度可达1μm | ●无导轨 ●无油污 ●无需维护 ●客制整机系统 ●非标定制 ●机电控制一站式服务 | ●晶圆切割 ●晶圆及半导体检测 ●玻璃薄片检测 ●晶圆划线 ●芯片堆叠 | ·OLED加工 ●CCD成像 ●屏幕检测 ●三维形貌等高端制造行业 |
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