洁净高效：直线电机在激光晶圆加工中的无尘优势
半导体制造环境对洁净度要求近乎苛刻。激光技术在晶圆划片（Dicing）、打标、缺陷修复、检测等环节应用广泛，其运动系统不仅要满足高精度、高速度的要求，还必须严格控制微粒污染和振动。直线电机，凭借其非接触式传动、无摩擦产尘、低振动的特性，成为激光晶圆加工设备的理想驱动核心。
传统滚珠丝杠或皮带传动在高速运行时：
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