半导体应用篇：直线电机助推国产晶圆设备自主化
半导体制造国产化浪潮中，晶圆传输效率直接制约产线吞吐量。传统机械臂传输存在振动大、精度低的缺陷，而直线电机驱动的EFEM（设备前端模块）凭借高速平滑运动，将晶圆交接时间缩短至0.8秒内，同时定位精度提升至微米级，成为12英寸晶圆厂优选方案。
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