晶圆检测中的 EFEM：微观缺陷的智能筛选器
在晶圆检测环节，EFEM 不仅是传输工具，更是缺陷识别的 “智慧眼睛”。其搭载的光纤传感器（如 E32/E3NX-FA 系列）可敏锐检测 cassette 内晶圆的凸出情况，防止取片碰撞
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