EFEM 的洁净设计:半导体制造的 “无菌手术室”
2025/8/22 8:59:50 来源 admin
返回列表

EFEM 的洁净性能直接影响晶圆良率。其内部采用多重洁净保障措施:不锈钢腔体与低释气材料减少颗粒释放,HEPA 过滤器过滤效率达 99.999%,形成 ISO Class 1 级洁净空间。

例如,新松机器人的 EFEM 通过全新气体导流结构,确保内部洁净度满足 ISO Class 1 标准,同时多重互锁保护机制从软硬件层面保障晶圆安全。在传输过程中,直线电机驱动的磁悬浮设计使运行噪音低于 40 分贝,避免振动产生颗粒。这种 “无菌手术室” 般的洁净环境,为光刻、刻蚀等关键工艺提供了稳定的基础保障。

#直线电机#直线电机模组,广东深圳直线电机、深圳直线电机模组平台厂家,汉诺是一家25年行业经验,专注高精密高稳定性直线电机模组平台研发定制生产厂家,公司主要产品有:直线电机、直线电机平台、直线电机模组、气浮平台、压电平台、EFEM晶圆前端传输设备等产品,广泛用于高精密自动化设备,公司拥有一万五千平研发生产车间,完备的6S生产管理,拥有多名十年以上装配经验高级技工,同时,汉诺直线电机公司定制厂家还拥有多台高精密检测设备,如10台雷尼绍激光干涉仪,准直仪、激光多普勒分析仪等,此外,汉诺直线电机平台公司还同哈工大、桂林理工大学等进行多项产学研合作,汉诺直线电机模组平台公司,经过多年发展,积累了各行业多家TOP企业客户,尤其是半导体、激光、3C、LED面板检测、PCB、医疗器械等领域,汉诺公司高精密直线电机模组深入参与苹果、华为、小米等手机、电脑产业链,新能源汽车产业链、光伏产业链等高精密自动化仪器设备厂家的深度合作。汉诺公司高精密直线电机平台能够解决客户微米、亚微米、纳米级等高精密的精准稳定运动控制,纳米级压电平台可以控制在正负3nm左右。包括单轴运动,不同方向的多轴、多维度运动,可以提供从铝型材、钢底板、大理石等不同级别,不同要求的解决方案,协助高精密自动化设备企业解决了众多的精密、精准、稳定,控制运动的众多难题,赢得了广泛的赞誉和信任,公司80%的业绩都是来源于老客户返单和老客户的转介绍。你报参数我选型,至佳匹配才更行。高精密直线电机找汉诺,运行精准稳定无差错。直线电机找汉诺,精准稳定是承诺。#自动化设备厂家 # 自动化设备公司#直线电机哪家好。详情见官网:http://www.hanocn.com/ff0000/main.cshtml

 


上一篇:微型纳米级直线平台:在发丝上跳 “精准芭蕾” 下一篇:功率半导体的 EFEM:特殊材质的定制化解决方案

电话:0755-86339733,18998923123 ,18998923112    地址:深圳市龙华区观澜街道鸿信工业园4栋    网址:www.hanocn.com


Copyright © 2020  版权所有:深圳市汉诺精密科技有限公司    备案号:粤ICP备19109527号   


  • 首页
  • 联系电话
  • 返回顶部