气浮平台作为一种高精度运动控制解决方案,其价值在多个产业领域得到了充分验证。汉诺通过持续技术创新,将气浮平台性能提升到了新的水平。
技术特点与性能表现
汉诺的气浮平台采用进口气浮模块,具有高阻尼、高刚性特性(气浮刚度可达150N/μm),气浮面为天然花岗岩表面,保证运动平面度及直线度。公司自主研发磁性预压设计,提升其稳定性,抗外界干扰解决气浮弊端。
动力方面采用悬浮直驱电机,无磁顿力、极佳的速度链波,搭配极小膨胀系数的铟钢尺,实现一流稳定的重复精度。平台无摩擦损耗、无需润滑、无需维护,这些特性使其在精密制造领域表现出色。
多元化产业应用
气浮平台在半导体加工/制造领域有广泛应用。在半导体膜厚检测方面,大行程双轴气浮运动台展现出优异性能,其气浮非接触式结构已被证明是精密应用中的理想选择。
此外,气浮平台还应用于激光加工、封装检测及其它高端制造业。汉诺的产品涵盖了压电平台、气浮平台、多轴直线电机平台、EFEM晶圆前端传输系统及传统直线电机模组等,广泛应用于半导体检测及搬运、激光行业、3C行业、面板检测及PCB检测等行业,医疗器械及新能源领域也有广泛的应用。
定制化服务能力
汉诺提供全面的非标定制化设计方案服务,能够根据客户特殊需求进行个性化设计。公司制造的大行程双轴气浮运动台可接受定制大行程,增加多工位,提升工作效率。
深圳市汉诺精密科技有限公司,13年专注非标定制直线电机平台、精密传动控制解决方案,超500家各行业非标定制直线电机平台的经验,提供非标定制化设计方案服务,同行业设计案例免费参观体验效果服务,咨询热线:18998923120
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