计量设备对运动系统的要求近乎苛刻:零摩擦、无爬行、无迟滞、低发热、高分辨率、超平滑运动。传统驱动方式难以全面满足:
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绝对平滑无摩擦: 直线电机的非接触驱动方式,彻底消除了静摩擦和动摩擦,避免了低速“爬行”现象,确保从静止到极低速运动的绝对平滑,这对高精度点采样的CMM和表面轮廓测量至关重要。
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零反向间隙: 运动方向改变时无滞后,保证双向测量精度一致,提高重复性和再现性。
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纳米级定位与分辨率: 结合高精度光栅反馈系统,轻松实现纳米级的分辨率和定位精度,满足现代微纳测量需求。
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低发热、低振动: 发热小,热变形影响极微;运动平稳,自身振动极小,避免对精密测量探头或光学系统造成干扰。
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直线电机为精密测量设备提供了“静若处子,动若脱兔”的运动平台。它不仅是移动的载体,更是测量精度的守护者,确保每一次测量结果的真实可信,为质量控制提供坚实保障。
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