行业痛点
光刻机需在硅片上雕刻纳米级电路，传统旋转电机因机械传动背隙难以满足精度需求，直线电机成为唯一解决方案。
技术优势
直接驱动：消除丝杠、皮带造成的背隙，定位精度达±40nm（100mm行程内）；
高速响应：电流环刷新速度670纳秒，适应光刻机掩模台高频微调；
洁净环境适配：无机械摩擦，避免微粒污染，符合ISO Class 1洁净标准。
国产突破案例
河南东微电子的直线电机通过中芯国际、长鑫存储认证，打破国外垄断，成为国家“卡脖子”技术攻关项目
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