
EFEM晶圆搬运系统的技术解析与应用价值
EFEM(设备前端模块)晶圆搬运系统是半导体制造过程中不可或缺的关键设备,其主要作用是在超净环境下实现晶圆的安全、精准传输。这类系统不仅需要维持极高的洁净度标准,还必须确保晶圆传输的精确性和稳定性,以满足现代半导体制造对工艺精度和生产效率的严格要求。
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