
追求精度:直线电机驱动3C精密测量
3C微型元件的尺寸、形位公差测量(如手机零件、连接器、芯片封装)要求纳米至亚微米级的精度。坐标测量机(CMM)、光学影像仪等高精度测量设备的运动平台,依赖直线电机实现:
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