清洗设备的 EFEM：洁净度的守护者
导体清洗环节对洁净度要求极高，EFEM 通过多重设计实现晶圆的无污染传输。其内部采用不锈钢腔体与低释气材料，配合高效净化系统，洁净度可达 ISO Class 1 标准（每立方英尺 0.1μm 以上颗粒≤1 颗）。例如，江苏福拉特的 EFEM 支持 3-12 英寸晶圆清洗，节拍≥300 片 / 小时，基板进出片精度≤±0.3mm，同时通过自动压力控制系统动态调节风扇转速，维持稳定的微环境压力。
