灵活多维的运动形式——多自由度集成方案
精密对准与定位往往不仅需要单轴的直线运动，更需要复杂多自由度的调整。利用压电陶瓷的灵活特性，可以设计出集成多种运动形式的多自由度平台，如XYθ平台、Tip-Tilt偏摆调整平台甚至六足并联机构。
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