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2020-10

微小型精密直线电机

满足机台需要的高精度，整机最终的精度所达到的精度必须满足在微型机械、超精密加工、微型装配、半导体器件制造及纳米技术等领域，需要高精度的定位和非常精细的运动
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2020-10

Z轴精密小型直线电机

直线电机平台专门优化了平台在负载、精度、可靠性方面的性能，使其成为对运动控制有更高要求的理想解决方案。直线电机直驱应用使得系统可以极高的分辨率带动相应负载，两种负载的平衡方式选择可满足系统在大负载或是高响应的应用场景。
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2020-10

高精密直线电机平台气动直线电机

精密气浮平台设备主要用于晶元检测、半导体检测、微光刻技术、精密数控机床加工、IC封装设备、生物技术、纳米表面形貌测量、视觉精密检测等领域。
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2020-10

直线滚珠丝杆滑台的特点

直线滚珠丝杆滑台是将回转运动转化为直线运动，或将直线运动转化为回转运动的理想产品。滚珠丝杆由螺杆﹑螺母和滚珠组成。它的功能是将旋转运动转化成直线运动，这是滚珠螺丝的进一步延伸和发展，这项发展的重要意义就是将轴承从滚动动作变成滑动动作。由于具有很小的摩檫阻力，滚珠丝杆被广泛用于各种工业设备和精密仪器。
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2020-10

双直线电机驱动的H型运动平台控制研究

硅片台是光刻机等IC制造装备的核心部件之一,主流的硅片台结构都采用H型布局,因此研究H型精密运动平台具有十分重要的意义,本文主要研究H型精密运动平台的运动控制问题。

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