双直线电机驱动的H型运动平台控制研究
硅片台是光刻机等IC制造装备的核心部件之一,主流的硅片台结构都采用H型布局,因此研究H型精密运动平台具有十分重要的意义,本文主要研究H型精密运动平台的运动控制问题。
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