刻蚀设备的 EFEM：高效传输与污染防控
在刻蚀工艺中，EFEM 需应对严苛的气体环境和高频次传输需求。Spartan EFEM 采用专利路径算法，晶圆切换时间＜2.5 秒，吞吐量达 450 片 / 小时，较传统方案提升 20%。其双抓爪直角坐标机器人减少 Z 轴移动，节省 30% 垂直空间，同时通过晶圆边缘夹持技术避免表面接触，降低微粒污染风险。
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