传统旋转电机+滚珠丝杠的方案存在反向间隙、摩擦、热变形等固有缺陷，难以满足现代光刻机对亚纳米级定位精度、超高速运动（频繁启停、步进扫描）和超低振动的严苛要求。直线电机凭借其直接驱动的特性，消除了中间传动环节带来的误差和滞后：
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零接触、零摩擦： 动子与定子无机械接触，从根本上避免了摩擦磨损、发热和反向间隙问题，运动平滑无抖动。
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超高精度与分辨率： 配合高精度光栅尺反馈，可实现纳米甚至亚纳米级的重复定位精度和轨迹控制精度，确保光刻图案的完美转移。
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极高响应速度与加速度： 电磁力直接产生推力，响应速度极快，加速度可达重力加速度的数十倍，满足高速扫描和步进需求，提升产能。
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超高刚性与稳定性： 无传动间隙，系统刚性高，抗干扰能力强，确保在高速运动下仍保持卓越的稳定性。
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选择高性能直线电机，是光刻机突破精度与效率瓶颈的关键。它如同光刻机内部一双“无形而精准的手”，为芯片制造的摩尔定律持续前行提供核心驱动力。
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