在QCM传感器中,核心是一个镀有敏感材料的压电石英晶体谐振器(石英本质是压电单晶)。当目标气体分子吸附到晶体表面的敏感膜上时,引起晶体质量增加,导致其谐振频率下降。通过精确测量频率的变化量,即可推算出吸附的气体质量浓度。
在SAW传感器中,压电基片(如石英、铌酸锂或压电陶瓷)表面制作叉指换能器(IDT)和传感路径。IDT利用压电效应激发和接收沿基片表面传播的声表面波。传感路径上涂覆对目标气体有选择性吸附的敏感膜。气体吸附改变表面性质(质量、弹性、电导率),从而改变声表面波的传播速度(导致相位或频率偏移)。检测这些偏移即可感知气体。
压电气体传感器的优势在于灵敏度高(可检测ppb级浓度)、响应快、体积小、易于集成和数字输出(频率信号抗干扰强)。压电陶瓷基SAW器件因其设计灵活、成本潜力大而备受关注,如同灵敏的“电子鼻”,守护着环境和健康安全。
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