压电陶瓷执行器利用逆压电效应：施加电压时，陶瓷材料会产生精确、快速的微变形（位移）。这种位移虽小（通常微米级），但具有分辨率极高（亚纳米级）、响应速度极快（毫秒甚至微秒级）、出力大（单位面积）和无磁滞、无摩擦（理想刚性驱动）等显著优势。
它们被广泛应用于：精密光学平台的主动隔振与镜面姿态调整；扫描探针显微镜（SPM） 的探针精确扫描控制；光刻机的掩模台或晶圆台的纳米级定位补偿；微装配与微操作系统驱动微小部件。压电陶瓷执行器如同灵巧而精准的“微米之手”，在微观世界里游刃有余，推动着精密工程的极限。
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