光刻/曝光机精密对位: 驱动掩膜版或基板,实现TFT阵列或彩色滤光片的纳米级套刻精度。
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OLED蒸镀设备: 精密控制蒸镀源或基板的运动,实现有机材料的均匀、精准沉积。
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高精度贴合设备: 驱动贴合头,实现面板与触摸屏、盖板玻璃之间的微米级精对准和无气泡贴合。
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面板AOI/缺陷修复: 高速、高精度扫描检测面板缺陷,并驱动激光等进行精修(见文章3, 7)。
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切割/裂片设备: 实现大板到小尺寸屏幕的高速、高精度切割。
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直线电机为显示面板的高分辨率、高良率、大规模生产提供了核心运动保障。
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