光刻机运动系统架构
气浮平台：承载硅片，实现纳米级稳定运动；
XY平台：驱动掩模版高速扫描；
龙门双驱：控制镜头组大跨度精密定位。
国产化案例
清华大学研发的28nm光刻原型机：
气浮工件台：300×300mm，Z轴跳动＜5nm；
掩模台XY平台：加速度2g，同步误差±1nm；
龙门双驱镜头定位：跨距1.2米，面型精度λ/50（λ=633nm）。
#直线电机#直线电机模组，直线电机、直线电机模组平台厂家，汉诺是一家25年行业经验，专注高精密高稳定性直线电机模组平台研发定制生产厂家，公司主要产品有：直线电机、直线电机平台、直线电机模组、气浮平台、压电平台、EFEM晶圆前端传输设备等产品，广泛用于高精密自动化设备，公司拥有一万五千平研发生产车间，完备的6S生产管理，拥有多名十年以上装配经验高级技工，同时，汉诺直线电机公司定制厂家还拥有多台高精密检测设备，如10台雷尼绍激光干涉仪，准直仪、激光多普勒分析仪等，此外，汉诺直线电机平台公司还同哈工大、桂林理工大学等进行多项产学研合作，汉诺直线电机模组平台公司，经过多年发展，积累了各行业多家TOP企业客户，尤其是半导体、激光、3C、LED面板检测、PCB、医疗器械等领域，汉诺公司高精密直线电机模组深入参与苹果、华为、小米等手机、电脑产业链，新能源汽车产业链、光伏产业链等高精密自动化仪器设备厂家的深度合作。汉诺公司高精密直线电机平台能够解决客户微米、亚微米、纳米级等高精密的精准稳定运动控制，纳米级压电平台可以控制在正负3nm左右。包括单轴运动，不同方向的多轴、多维度运动，可以提供从铝型材、钢底板、大理石等不同级别，不同要求的解决方案，协助高精密自动化设备企业解决了众多的精密、精准、稳定，控制运动的众多难题，赢得了广泛的赞誉和信任，公司80%的业绩都是来源于老客户返单和老客户的转介绍。你报参数我选型，至佳匹配才更行。高精密直线电机找汉诺，运行精准稳定无差错。直线电机找汉诺，精准稳定是承诺。#自动化设备厂家 # 自动化设备公司#直线电机哪家好
电话：0755-86339733，18998923123 ，18998923112 地址：深圳市龙华区观澜街道鸿信工业园4栋 网址：www.hanocn.com
Copyright © 2020 版权所有：深圳市汉诺精密科技有限公司 备案号：粤ICP备19109527号
