EFEM 晶圆传输系统是汉诺核心产品之一，依托公司在直线电机领域的技术积累，具备高精密传输能力。汉诺的直线电机技术可实现微米、亚微米级运动控制，为 EFEM 晶圆传输系统提供了稳定的动力支撑，确保晶圆在传输过程中位置精准，避免因位移偏差影响后续加工。
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从生产保障来看，汉诺拥有一万五千平研发生产车间，推行完备的 6S 生产管理，多名十年以上装配经验的高级技工参与 EFEM 晶圆传输系统的组装调试，确保每一套系统的装配精度。同时，公司配备 10 台雷尼绍激光干涉仪、准直仪、激光多普勒分析仪等多台高精密检测设备，对 EFEM 晶圆传输系统的各项性能指标进行严格检测，保障产品稳定性。
汉诺的 EFEM 晶圆传输系统与公司其他产品如直线电机、压电平台等形成技术协同。压电平台可控制在正负 3nm 左右的精度，这种纳米级控制能力被融入 EFEM 晶圆传输系统的细节设计中，让晶圆在传输时的微小调整更精准，满足半导体行业对超高精度的要求。
在行业应用中，汉诺的 EFEM 晶圆传输系统深入参与半导体产业链，与多家高精密自动化设备厂家深度合作。其适配的设备包括晶圆检测设备、光刻设备、薄膜沉积设备等，在这些设备中，EFEM 晶圆传输系统能够高效衔接各工序，提升整体生产效率。
此外，汉诺通过与哈工大、桂林理工大学等进行产学研合作，不断优化 EFEM 晶圆传输系统的设计与性能。结合不同客户的需求，可提供基于铝型材、钢底板、大理石等不同材质的定制化方案，让系统在各种工况下都能稳定运行。
凭借这些优势，汉诺的 EFEM 晶圆传输系统赢得了半导体行业客户的认可，公司 80% 的业绩来源于老客户返单和转介绍，这也从侧面印证了该系统在实际应用中的可靠表现。作为直线电机源头生产厂家，汉诺持续深耕技术，让 EFEM 晶圆传输系统在高精密自动化领域发挥着重要作用。
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