产生磨损碎屑： 机械摩擦不可避免会产生金属或有机物微粒，污染敏感的晶圆表面。
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需要润滑： 润滑油/脂存在挥发和污染风险。
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振动较大： 影响加工和检测精度。
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直线电机的优势在于：
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零机械接触： 定子与动子间通过电磁场传递力，无物理摩擦，从根本上杜绝了因磨损产生的微粒，满足Class 1甚至更高洁净度要求。
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无需润滑： 彻底消除润滑剂带来的污染隐患。
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低振动、低噪音： 运动平稳，减少对精密光学系统和脆弱晶圆的干扰。
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高精度与速度： 同样提供微米/纳米级定位精度和高速运动能力，满足精细划片线和高速检测的需求。
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在半导体前道和后道工艺中，采用直线电机的激光加工/检测平台，是实现高良率、高可靠性和洁净生产的核心技术保障。
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