在Array制程中，直线电机驱动的高精度机械手或工作台负责玻璃基板在多个工艺站间的快速、平稳、无振动转移和精准对位（微米级），避免因振动或定位不准导致的光刻不良。在Cell/Module制程的贴合、邦定环节，直线电机提供精密压力控制所需的平稳、可控的微进给运动。
在激光切割、划线设备中，直线电机驱动激光头进行高速、高精度的扫描运动，确保切割边缘质量。在自动光学检测（AOI）设备中，直线电机驱动相机或基板高速、平稳移动，实现高效、高分辨率的缺陷扫描。
直线电机的无尘、无油污、免维护特性也完美符合面板和光伏生产的洁净环境要求。
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