传统EFEM中的机械臂常采用旋转电机配合皮带、丝杠或齿轮传动。这些方式在高速运动时易产生振动、磨损微粒，且存在传动间隙和弹性变形，限制了精度和速度的提升，更可能带来污染风险。直线电机技术则带来了质的飞跃：
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无接触直接驱动： 消除了机械传动环节，从根本上杜绝了磨损微粒的产生，满足半导体严苛的洁净度要求。
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超高精度与重复定位精度： 直线电机响应极快，控制精度可达纳米级，确保晶圆被精准地拾取、放置到指定位置（如Load Port、预对准器、工艺腔室），重复定位精度远优于传统方式。
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高速度与高加速度： 直接驱动带来更快的加减速能力和更高的峰值速度，显著缩短晶圆传输时间，提升设备整体节拍（UPH）。
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高刚性，低振动： 结构紧凑，动态刚度高，运动平稳，有效减少对精密晶圆的振动冲击。
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免维护长寿命： 无机械磨损部件，大大降低了维护成本和停机时间。
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采用高性能直线电机的EFEM，能够轻松应对300mm乃至更大尺寸晶圆的快速、平稳、超洁净传输需求，是提升先进半导体制造良率与效率的可靠保障。我们先进的直线电机解决方案，专为EFEM环境优化设计，是您构建下一代高速高精度晶圆处理系统的理想动力核心。
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