划片/切割过程中，工作台需要沿着预设的切割道（Street）进行高速、高精度的直线进给（Feed）和步进（Index）。刀片/激光与晶圆的位置关系必须保持高度恒定，任何微小的振动或轨迹偏差都可能导致切缝宽度不均、崩边（Chipping）甚至芯片碎裂，严重影响良率。直线电机的优势在此凸显：
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超精密直线运动： 提供微米甚至亚微米级的定位精度和轨迹跟踪精度，确保切割刀路严格沿切割道中心线行进，切口光滑均匀。
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高速平稳进给： 高加速度和速度能力满足高速切割需求，同时运动极其平稳，有效抑制振动传递，最大程度减少崩边。
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高刚性抗扰动： 直线电机直接驱动结构刚性好，能抵抗切割过程中产生的切削力或激光反冲力扰动，保证切割深度的均匀性。
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高响应性： 快速响应控制指令，实现精确的启停和速度切换，尤其在处理复杂切割图案（如弧线）时游刃有余。
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长寿命免维护： 无接触、无磨损，适应切割环境可能存在的冷却液（DI Water）环境，可靠性高，降低设备维护成本。
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对于更先进的隐形切割（Stealth Dicing）或激光开槽（Laser Grooving）等工艺，直线电机带来的高精度和稳定性更是必不可少。我们提供的坚固耐用、防尘防溅（IP等级可选）的高精度直线电机平台，是确保晶圆切割工序实现高良率、高效率的坚实基础。
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