汉诺XYZ+θ直线电机:高端检测领域的精密运动标杆
2025/8/1 11:31:26 来源 admin
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在晶圆半导体、液晶面板等高端检测领域,微米级甚至纳米级的运动控制精度直接决定设备性能。汉诺精密凭借 25 年技术积淀研发的 XYZ+θ 直线电机,以 ±1.5μm 直线度、±2μm 平面度等超精密性能,成为高端检测设备的核心动力解决方案,重新定义行业精密运动标准。
一、25 年深耕,铸就高精密领域标杆企业
深圳市汉诺精密科技有限公司作为拥有 25 年行业经验的资深厂商,专注于高精密直线电机模组平台的研发、定制与生产。公司一万五千平方米的研发生产车间采用完备的 6S 管理体系,配备多名拥有十年以上装配经验的高级技工,确保每一台产品的装配精度。
依托 10 台雷尼绍激光干涉仪、准直仪等尖端检测设备,汉诺建立起全流程质量管控体系,从零部件检测到成品校准均实现微米级监控。与哈工大、桂林理工大学的产学研合作,更让公司持续领跑技术前沿,研发实力得到苹果、华为等产业链核心企业的认可。如今,汉诺产品已深度服务于半导体、激光、3C 等领域的多家 TOP 企业,80% 的业绩来自老客户返单与转介绍,印证了市场对其精密品质的高度信赖。
二、性能,XYZ+θ 直线电机的技术突破
作为汉诺的核心产品,XYZ+θ 直线电机将直线电机的高精度、高响应特性发挥到。其直线度控制在 ±1.5μm,运动平面度达 ±2μm,配合纳米级定位精度,完美满足半导体检测中对微观结构的观测需求。
Z 轴专属重力平衡设计,有效抵消负载自重影响,确保垂直运动的稳定性;天然花岗岩基台凭借极低的热膨胀系数,为整机提供恒稳的运动基准。在动态性能上,该产品响应速度快、整定时间短,配合极佳的速度链波特性,可实现高速运动中的微米级定位切换,大幅提升检测效率。
针对高端设备的安全需求,产品配备断电刹车装置,避免突发断电造成的设备损伤;而极强的客制性,则能根据客户需求定制 θ 旋转马达等组件,适配不同检测场景,充分体现直线电机结构紧凑、布局灵活的优势。
三、全领域覆盖,精密运动的可靠伙伴
XYZ+θ 直线电机的应用领域贯穿高端制造与检测产业链:在晶圆半导体检测中,其纳米级定位能力助力芯片缺陷的精准识别;玻璃薄片与液晶面板检测中,±2μm 的平面度确保光学检测的一致性;CCD 成像系统搭载该产品后,可实现高速连拍中的画面防抖。

从 3C 产品的高精度测试设备到光伏产业链的精密检测仪器,汉诺 XYZ+θ 直线电机始终以 “运行精准稳定无差错” 的承诺,协助客户攻克微米、亚微米级运动控制难题。选择汉诺,不仅是选择一款高性能直线电机,更是选择一个拥有 25 年技术积累的精密运动解决方案伙伴,让每一次运动都成为精度与效率的完美结合。


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