深圳市汉诺EFEM晶圆检测平台在光刻机设备中的应用
在高精密自动化设备领域,深圳市汉诺EFEM晶圆检测平台在光刻机设备中的应用占据重要地位。作为拥有25年行业经验的直线电机厂家,汉诺拥有一万五千平研发生产车间,实施完备的6S生产管理,配备多名十年以上装配经验的高级技工,同时引入雷尼绍激光干涉仪、准直仪等多台高精密检测设备,为产品品质提供坚实保障。
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