EFEM 的洁净设计：半导体制造的 “无菌手术室”
EFEM 的洁净性能直接影响晶圆良率。其内部采用多重洁净保障措施：不锈钢腔体与低释气材料减少颗粒释放，HEPA 过滤器过滤效率达 99.999%，形成 ISO Class 1 级洁净空间。
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