汉诺XYZ+θ直线电机：高端检测领域的精密运动标杆
在晶圆半导体、液晶面板等高端检测领域，微米级甚至纳米级的运动控制精度直接决定设备性能。汉诺精密凭借 25 年技术积淀研发的 XYZ+θ 直线电机，以 ±1.5μm 直线度、±2μm 平面度等超精密性能，成为高端检测设备的核心动力解决方案，重新定义行业精密运动标准。
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